Интерферометр Линника

Интерферометр Линника — видоизменённый интерферометр Майкельсона, предназначенный для измерений неровностей поверхности, если величина этих неровностей сравнима с длиной волны используемого света^[2], а также определения толщины плёнок, величин малых перемещений^[3]. Микроинтерферометр Линника был изобретён в 1933 году^[3], в результате чего возникли промышленные образцы типа МИИ-4М, МИА-1, МИИ-4. Предназначен для контроля качества обработки поверхностей как оптических элементов, так и деталей машин и механизмов^[4]. Интерферометр Линника состоит из двух стеклянных пластин и двух зеркал, причём одним из зеркал служит исследуемая поверхность^[5].

Оптическая схема интерферометра Линника показана на рисунке. Здесь 1 — источник света, 2 — объектив-коллиматор, 3 — делительная пластина, 4 — компенсационная пластина, 5 и 6 — микрообъективы, 7 — исследуемый объект, 8 — зеркало-эталон, 9 — объектив, 10 — шкала окуляра-микрометра, 11 — окуляр.

Источник 1 формирует волновой сферический фронт, проходящий затем через объектив-коллиматор 2, где преобразуется в плоский волновой фронт, который на светоделителе 3 расщепляется на два пучка. Отразившийся от светоделителя пучок попадает в объектив и преобразуется в параллельный пучок лучей с минимальными искажениями, попадает на поверхность исследуемого объекта и, с искажениями, сформированными поверхностью исследуемого объекта, интерферирует с опорным пучком, прошедшим сквозь светоделитель и сфокусированный объективом на образцовую оптическую поверхность В.

Интерференция обоих пучков представляет собой интерференционную картину, состоящую из параллельных полос, отклонения которых зависят от дефектов и неровностей исследуемой поверхности. Затем оба пучка попадают в объектив 9 и становятся доступными для наблюдений и измерений. Порог чувствительности составляет 0,1 шага интерференционной полосы при отсутствии шумов, при их наличии точность уменьшается до 1/5 шага интерференционной полосы. Через окуляр наблюдает интерференционные полосы равной толщины.

Конструкция интерферометра Линника позволяет компенсировать оптические аберрации, в частности, хроматическую дисперсию.