Орликовский, Александр Александрович

Родился в 1938 году в семье белоруса, уроженца Витебской губернии, участника Гражданской войны, начальника штаба 8-й Дальневосточной кавалерийской дивизии ОКДВА полковника РККА Александра Ивановича Орликовского и москвички из бывшей купеческой семьи Натальи Сергеевны Мальковой. Ещё до рождения А. А. Орликовского его отец был репрессирован.

Скончался 1 мая 2016 года в Москве. Похоронен на Троекуровском кладбище (участок 25а)^[2]. На могиле установлен памятник из чёрного гранита с выгравированным портретом^[2].

Выпускник Московского инженерно-физического института 1961 года.

В 1961—1963 годах работал в Союзном научно-исследовательском институте приборостроения.

В 1963—1966 годах — аспирант Московского института электронного машиностроения. После окончания аспирантуры в 1966 году защитил кандидатскую диссертацию^[1].

В 1969—1984 годах (последовательно) старший преподаватель, доцент, профессор кафедры интегральных полупроводниковых схем (ныне кафедра интегральной электроники и микросистем) Московского института электронной техники.

В 1981—1985 годах — старший научный сотрудник сектора микроэлектроники Физического института им. П. Н. Лебедева (ФИАН), в 1985—1988 годах заведующий лабораторией микроструктурирования и субмикронных приборов отдела микроэлектроники Института общей физики (ИОФАН).

С 1988 года (после выделения отдела в Физико-технологический институт) заведующий лабораторией (1988—2001), заместитель директора по научной работе (2001—2005), директор (2005—2015), научный руководитель ФТИАН (2015—2016).

Начиная с работы в МИЭТ, научная карьера и деятельность Орликовского была тесно связана с деятельностью академика К.А. Валиева. Орликовский, как и Валиев, последовательно переходил сначала в ФИАН, затем в ИОФАН и в ФТИАН. В 2005 году, когда Валиев ушёл с должности директора ФТИАН, новым директором был избран именно Орликовский.

Читал лекции на кафедре физических и технологических проблем микроэлектроники факультета физической и квантовой электроники МФТИ^[3].

Член-корреспондент РАН (2000), академик РАН (2006) по Отделению нанотехнологий и информационных технологий. Являлся главным редактором журнала «Микроэлектроника», председателем Научного совета РАН по микро- и наноэлектронике и членом Бюро Отделения нанотехнологий и информационных технологий РАН^[4][1].

• Автор более 300 научных трудов, включая 2 монографии.
• Выполнены с внедрением в спецаппаратуре пионерские работы по полупроводниковым интегральным схемам памяти (концепция, схемы выборки, структуры, коллективные явления).
• Разработаны плазменные процессы (травления, осаждения, имплантации и др.) в технологии кремниевой наноэлектроники; разработаны методы мониторинга плазменных процессов, созданы высокочувствительные детекторы момента окончания процессов; разработан томограф низкотемпературной плазмы для контроля 2В-распределений концентраций радикалов и ионов.
• Разработаны оригинальные конструкции СВЧ и ВЧ источников высокооднородных потоков плотной плазмы; созданы автоматизированные технологические плазменные установки, предназначенные для применения как в исследовательских, так и в промышленных целях.
• Разработаны новые технологии силицидизации контактов к мелкозалегающим p-n переходам; получены приоритетные результаты в исследованиях кинетики фазообразования силицидов.
• Разработана физическая модель баллистических нанотранзисторов со структурой «кремний на изоляторе» с учетом квантовых эффектов; созданы нанотранзисторы с суб-100 нм каналами, а в 2009 году — прототипы МОП-транзисторов с топологической нормой 45 нм.

• Орден Дружбы (2009 год)^[4]
• Премия Правительства Российской Федерации в области науки и техники (2009 год)^[4]
• Премия Правительства Российской Федерации в области образования (2013 год) — (совм. с проф. ФРТК МФТИ С. Н. Гаричевым, проф. А. В. Старовойтовым, проф. Ю. В. Протасовым и др.) за научно-практическую разработку "Создание базы знаний «Электроника» на основе генерации серии тематических баз и банков данных по фундаментальным разделам физической и прикладной электроники и издание серии учебников и учебных пособий «Электроника в техническом университете»^[5]
• Медаль «В память 850-летия Москвы»^[4]
• Премия имени С. А. Лебедева РАН (2009) за цикл работ «Технология и приборы кремниевой микро- и наноэлектроники»^[4]