Савин, Виктор Васильевич

Родился 31 мая 1927 года. С 1964 года — исполняющий обязанности директора, а в январе 1965 года стал первым руководителем Научно-исследовательского института точного машиностроения (НИИТМ) и завода «Элион» (Зеленоград)^[1][2]. Кандидат технических наук.

В период его руководства созданы:

• вакуумно-напылительные установки на основе базовой модели УВН-70А-1, электронно-лучевая установка ЭЛУМ-1 для производства гибридных ИС, установки наращивания эпитаксиальных слоев, лазерная установка для обработки изделий микроэлектроники (1966—1967)^[3][4];
• комплект оборудования «Корунд-С» для массового производства ИС на кремниевых пластинах диаметром 40 и 60 мм (1968)^[3];
• многопозиционное, многореакторное вакуумно-напылительное оборудование для производства ИС (1969)^[3][4];
• оборудование для производства ИС на пластинах диаметром 76 мм (1970)^[3];
• вакуумно-напылительные установки с электронно-лучевыми и ионными системами (1971)^[3][4];
• комплекты оборудования для массового изготовления ИС (1972—1974)^[3];
• высокопроизводительные вакуумно-напылительное установки полу- и непрерывного действия, автоматизированные поточные линии для физико-термических операций, комплекты плазмохимического оборудования (1975—1977)^[3][4];
• сборочное оборудование^[3];
• контрольно-измерительное оборудование^[4][5];
• кассетные магнитофоны «Электроника»^[4][5].

В 1974 году за вклад в организацию Научного центра микроэлектроники, формирование и развитие науки и промышленности Зеленограда удостоен Ленинской премии в составе коллектива (Валиев К. А., Гуськов Г. Я., Ливинцев Л. Н., Малинин А. Ю.)^[6].

Умер 3 июля 1978 года. Похоронен на городском кладбище Зеленограда.

В Музее Зеленограда хранится фотография В. В. Савина в период его руководства НИИТМ^[7].