Агеев, Олег Алексеевич
Оле́г Алексе́евич Аге́ев (род. 5 февраля 1966, Донецк) — специалист в области нанотехнологий, доктор технических наук, профессор, член-корреспондент РАН (2016).
Общие сведения
| Олег Алексеевич Агеев | |
|---|---|
| Дата рождения | 5 февраля 1966 (60 лет) |
| Место рождения | |
| Страна | |
| Научная сфера | нанотехнологии |
| Место работы | |
| Учёная степень | д. т. н. |
| Учёное звание | профессор |
| Награды и премии |
  |
Биография
Профессор и директор НОЦ «Нанотехнологии» Института нанотехнологий, электроники и приборостроения ЮФУ[2].
Специалист в области активируемых физико-химических процессов синтеза иерархических наноматериалов и наноструктур, разработки процессов создания элементов наноэлектроники и наносистемной техники лучевыми и плазменными методами.
Автор и соавтор более 450 научных работ, из них 16 монографий и 47 патентов[3].
Основные научные результаты
- разработаны физико-технологические основы процессов создания наноструктур и элементов наноэлектроники и наносистемной техники лучевыми и плазменными методами;
- разработаны физические основы нанолитографии методами фотонностимулированного локального анодного окисления и фокусированных ионных пучков;
- разработаны физико-технологические основы формирования контактов к интегральным структурам приборов экстремальной электроники на основе карбида кремния, методами импульсной термообработки и электронно-лучевой обработки[4].
- разработаны основы технологии электронно-лучевой обработки и получения epi-ready поверхности монокристаллических подложек широкозонных полупроводниковых материалов[4];
- разработаны физико-технологические основы создания элементной базы нейроморфных систем методом зондовой нанолитографии[4];
- разработаны технологические основы формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для устройств микроэлектронной сенсорики[4];
- установлены закономерности и механизм пьезоэлектрического эффекта в неравномерно деформированных углеродных нанотрубках[4];
- разработаны технологические основы формирования наноструктурированных плёнок методом импульсного лазерного осаждения для чувствительных элементов газовых сенсоров и пьезоэлектрических преобразователей[4];
- разработан способ создания матричных пьезоэлектрических микроэлектромеханических ультразвуковых сенсоров[4];
- разработаны технологические основы создания элементной базы микро- и наносистемной техники методом фокусированных ионных пучков[4];
- разработаны технологические основы синтеза плёнок углеродных нанокомпозитов для устройств микроэлектронной сенсорики[4];
- разработаны технологические основы формирования наноструктур А3В5 методом молекулярно-лучевой эпитаксии для элементов микро- и наноэлектроники[4].
Научно-организационная деятельность
- член редколлегии журналов «Микро- и наносистемная техника», «Известия ЮФУ. Технические науки», «Инженерный вестник Дона», «Инновации и инвестиции»;
- член межведомственной рабочей группы по направлению «Инфраструктура научных исследований» при Совете по науке и образованию при Президенте РФ;
- член Экспертного совета по электронике, измерительной технике, радиотехнике и связи ВАК при Минобрнауки России;
- член эксперт РФФИ, РНФ и Государственной дирекции целевой научно-технической программы;
- заместитель председателя диссертационного совета ЮФУ801.02.11[5].
Преподавание
Ведёт преподавательскую работу в должности профессора, под его руководством защищено в качестве научного руководителя подготовил 12 кандидатов технических наук.
В 2022 году под его руководством кандидатскую диссертацию защитил Н. Н. Рудык.
Награды
- Почётная грамота Президента Российской Федерации (2024)[6]
- Заслуженный работник высшей школы Российской Федерации (2018)[2]
- Почётный работник высшего профессионального образования РФ (2011)[2]
Из библиографии
Книги
- Быстрая термообработка некогерентным ИК-излучением контактов к карбиду кремния / О. А. Агеев; Минобрнауки РФ, ГБОУ ВПО Таганрогский гос. радиотехнический ун-т (ТГРУ). — Таганрог: Изд-во ТГРУ, 2003. — 126, [1] с.: ил., табл.; 21 см; ISBN 978-5-8327-0152-6: 300 экз.
- Проблемы технологии контактов к карбиду кремния / О. А. Агеев; Минобрнауки РФ, ГБОУ ВПО Таганрогский гос. радиотехнический ун-т (ТГРУ). — Таганрог: ТГРУ, 2005. — 252 с.: ил., табл.; 20 см; ISBN 5-8327-0208-5: 100 экз.
- Карбид кремния: технология, свойства, применение / Агеев О. А. [и др.]; под общ. ред. А. Е. Беляева и Р. В. Конаковой. — Харьков: ИСМА, 2010. — 531 с.: ил.; 21 см. — (Состояние и перспективы развития функциональных материалов для науки и техники/ Нац. акад. наук Украины, Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарёва, Украина, Физико-технический ин-т им. А. Ф. Иофе, РАН, Россия [и др.]).; ISBN 978-966-02-5445-9: 300 экз.
- Нанотехнологии в микроэлектронике / Авдеев С. П., Авилов В. И., Агеев В. О. [и др.]; под ред. чл.-корр. РАН, докт. техн. наук, проф. О. А. Агеева, докт. техн. наук, проф. Б. Г. Коноплёва; Южный федеральный университет, Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения, Научно-образовательный центр «Нанотехнологии». — Москва: Наука, 2019. — 511 с., [12] л. ил., цв. ил.: ил., табл., факс.; 25 см; ISBN 978-5-02-040201-0: 300 экз.
- Информационно-измерительная техника и электроника. Преобразователи неэлектрических величин: учебное пособие для спо / Агеев О. А. [и др.]; под общ. ред. О. А. Агеева, В. В. Петрова. — 2-е изд., испр. и доп. — Москва: Юрайт, 2023. — 158 с[7].
Диссертации
- Агеев, Олег Алексеевич. Исследование температурных полей, напряжений и дефектообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением: дис. … канд. техн. наук: 05.27.01. — Таганрог, 1995. — 78с.: ил.
- Агеев, Олег Алексеевич. Физико-технологические основы формирования контактов к карбиду кремния методами импульсной термообработки: дис. … докт. техн. наук: 05.27.01. — Таганрог, 2005. — 524 с.: ил.
Примечания
Ссылки
- Агеев, Олег Алексеевич на математическом портале Math-Net.Ru
- Список трудов в каталоге РГБ.